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半导体行业用高纯贵金属及合金靶材的制备与应用研究
栏目：国家级、省级重大科研项目
发布时间：2020-03-26
课题名称 | 计划类型 | 计划发布机构 | 项目时间 | 专项经费（万元) |
半导体行业用高纯贵金属及合金靶材的制备与应用研究 | 厦门市重大科技项目 | 厦门市科技局 | 2020.03-2023.03 | 510 |
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